深城总部顶层的灯光,在二十五周年庆典的喧囂散去后,並未熄灭,反而亮得更加执著,如同夜海中指引航向的灯塔。
庆典的鲜花与掌声已被收起,取而代之的是悬掛在战略指挥中心巨大电子屏上的,一幅全新的作战示意图——“追光计划”二期,euv攻坚战总览图。
图上清晰標註著三路大军的进军路线、技术节点与攻克时限,红、蓝、黄三色箭头,如同三柄利剑,直指那座名为“极紫外光刻”的技术珠峰。
陈醒站在图前,身后是公司所有核心高管。庆典上宣布的“领跑”宣言言犹在耳,但此刻,每个人都清楚,口號必须踏踏实实地踩在每一个原子、每一束光的精度上。
“同志们,庆典结束了。”
陈醒的声音打破了沉寂,没有激昂的动员,只有冰冷的理性。
“周明带来的消息大家都知道了。阿斯莫的管制升级,不是警告,是宣战。他们想把我们永远锁死在28nm的舒適区,扼杀我们向更高製程进军的所有可能。我们没有任何退路,『追光计划』二期,从现在起,进入战时状態!”
他的目光扫过眾人,最终落在林薇、金秉洙和梁志远身上。
“林薇,你作为项目总协调,我要你確保三路大军的资源,尤其是人才和资金,必须无限量、无条件优先保障!金博士,梁工,正面战场,就交给你们了。”
第一路,正面强攻,“光源与光学”突击队。
合城,华夏芯谷深处,新落成的euv光源实验室。这里的气氛比超净间更加凝重,空气中瀰漫著臭氧和金属加热后的特殊气味,巨大的二氧化碳雷射器阵列发出低沉的嗡鸣。
金秉洙博士双眼布满血丝,紧盯著主控屏幕上疯狂跳动的数据。第三次锡滴雷射轰击实验刚刚结束,结果依旧不理想。
“功率稳定度92.3%,距离95%的工程化门槛还差一口气。”
一位年轻工程师声音乾涩地匯报,脸上写满了沮丧。
“锡滴的生成频率和雷射的同步精度,始终有纳秒级的抖动,导致等离子体状態不稳定,euv光输出功率波动太大。”
纳秒,对於常人而言是无法感知的一瞬,但对於需要以每秒数万次频率精准轰击微米级锡滴的euv光源来说,却是生与死的界限。
“问题出在哪里?是雷射器的脉衝控制,还是锡滴发生器的机械振动?”
金秉洙的声音嘶哑,他已经在实验室连续盯了48小时。
“我们排查了所有已知的可能。雷射器的稳定性已经做到了当前技术的极限。锡滴发生器的材料在连续高频衝击下,出现了微米级的形变……这可能就是抖动的根源。”
来自华科院东北光机所的专家,指著电子显微镜下的一张材料结构图,眉头紧锁。
“我们需要一种全新的、具备极高抗疲劳强度和热稳定性的合金材料。”
材料!又是材料!这仿佛是华夏科技向上攀登道路上,永远绕不开的拦路虎。
“国內有能做的吗?”
金秉洙问,心里其实已经有了答案。
“有几家顶尖的材料研究所,但……时间。从配方设计、熔炼、到性能测试、叠代,没有一年半载,很难拿出满足要求的样品。”
一年半载?陈醒给出的两年工程样机时限,瞬间就显得无比紧迫。
就在这时,实验室的门被推开,林薇带著一位身著便装,但气质精干的中年人走了进来。
“金博士,介绍一下,这位是徐文渊教授,国家新材料重点实验室的首席科学家,也是我们『星火计划』最早期的顾问之一。徐教授在耐高温高强合金领域,是国內的绝对权威。”
徐文渊没有寒暄,直接走到显微镜屏幕前,仔细看著那张材料结构图。
“问题很典型。高频衝击下的晶界滑移和再结晶导致的疲劳。传统的镍基合金路线走到头了。”
他抬起头,眼中闪烁著挑战难题的光芒。
“我最近正在验证一种新的錸铱鉭三元复合材料理论模型,或许可以解决这个问题。但需要调用国家实验室的兆吨级压力熔炼炉,而且……失败率会很高。”
“需要什么支持?” 林薇言简意賅。
“钱,人,以及……不怕失败的决心。”
徐文渊看向金秉洙,
“我可以立刻组织团队,但需要你们光源团队提供最详尽的工况参数和失效模型数据。”
“没问题!”
金秉洙眼中重新燃起希望的火光,
“我们全力配合!”
一条新的协作链路,在绝境中迅速搭建起来。
国家力量的深度介入,为这场硬仗带来了新的变数。
第二路,迂迴包抄,“工艺与集成”智囊团。
在同一栋楼的另一间大型实验室里,气氛则截然不同。
这里没有震耳欲聋的雷射轰鸣,只有计算机集群散热风扇的呼啸,以及白板上密密麻麻的公式和设计图。
梁志远和通过视频远程接入的章宸正带领著团队,进行著一场“螺螄壳里做道场”的极限挑战:在不依赖euv的情况下,利用现有的duv光刻机,通过多重图形技术和设计-工艺协同优化(dtco),无限逼近14nm工艺的性能。
屏幕上,复杂的晶片布局图被各种顏色的线条层层分割,代表著一次次的光刻、刻蚀、沉积步骤。
“第四次仿真结果出来了。”
一位工程师匯报,声音带著一丝疲惫,
“採用三重图形技术,理论上可以將线宽压缩到16nm,但……工序步骤增加了287%,预计良率……只有可怜的18%。成本是euv路线的三倍以上。”
18%的良率,三倍的成本!
这意味著即使做出来,也毫无商业竞爭力,只能作为技术验证的“花瓶”。