华夏芯谷euv光源实验室的恆温车间里，空气仿佛被持续数年的高压凝成了固態。

巨大的二氧化碳雷射器阵列占据了半个厂房，发出低沉的嗡鸣，如同蛰伏的巨兽。

核心测试区的观察窗后，金秉洙博士双手紧握护栏，指节因用力而泛白，布满血丝的眼睛死死盯著主控屏幕上那条代表著生命线的绿色曲线，euv光源实时功率稳定度，此刻正顽强地停留在97.2%。

距离量產要求的98%仅一步之遥，这一步，却如同天堑。

“徐教授，情况不乐观！”

一位年轻工程师快步走到徐文渊身边，递上最新的检测报告，声音带著焦虑，

“连续运行四小时后，锡滴发生器喷嘴的錸铱鉭合金表面，出现了微观裂纹！锡滴喷射均匀度正在下降，等离子体稳定性受到影响！”

徐文渊接过报告，目光锐利地扫过扫描电镜图像上那些如同蛛网般蔓延的细微裂纹。

这位材料学泰斗眉头紧锁：

“我们目前的錸铱鉭合金，抗疲劳强度已是国內顶尖，但euv光源的环境太苛刻了，每秒数万次雷射轰击，瞬时温度超两万度，这对任何材料都是极限考验。而且……”

他顿了顿，语气沉重，

“我们通过特殊渠道获取的高纯度錸金属即將耗尽，后续批次国產錸的纯度，恐怕难以维持现有性能。”

林薇站在一旁，脸色凝重。

阿斯莫的封锁不仅限於整机，已蔓延至核心材料和部件。

“金博士，能否调整雷射参数？適当降低峰值功率，延长脉衝宽度，或许能减轻衝击？”

林薇提出设想。

金秉洙缓缓摇头，语气透著疲惫：

“我们试过了。能量一旦降低，euv输出功率就无法满足14nm工艺的光强需求。这是一个死循环，保性能，损部件；保部件，失性能。”

他看了一眼屏幕旁倒计时的红色数字，

“距离『天权5號』预定的流片窗口，只剩两周了。”

实验室里一片死寂，只有设备运行的嗡鸣，像是在为倒计时敲响丧钟。

就在这时，陈醒的身影出现在实验室门口。

他刚结束与“泛非项目”团队的跨洋会议，脸上带著旅途的疲惫，但眼神依旧清明锐利。

他没有寒暄，径直走到主控屏前，默默观察了十分钟那条起伏不定的曲线。

“问题的核心，是材料极限与能量平衡的矛盾。”

陈醒的声音打破了沉寂，清晰而冷静，

“我们不能在现有框架里打转，必须寻找新的突破点。徐教授，合金配方还有优化空间吗？比如引入新的元素，或者採用表层防护技术？”

陈醒的话让徐文渊眼中一亮：

“常规的合金强化路径我们已走到瓶颈。但如果採用原子层沉积技术，在喷嘴关键区域镀上一层纳米级的特殊保护膜，或许能极大延缓裂纹產生！只是这需要定製专用设备，工艺难度极高，时间……”

“设备和人，我来协调！不惜一切代价！”

陈醒果断拍板，隨即看向金秉洙，

“金博士，雷射轰击方式能否改变？既然单点衝击力过大，能否將一束光，分而治之？”

“分而治之？”

金秉洙微微一怔，隨即瞳孔收缩，

“您是说……採用微透镜阵列，將主雷射束分割成多个子束，实现多点同步轰击？”

“没错！分散衝击力，但保持总能量不变！甚至可能让锡滴汽化更均匀，提升等离子体稳定性！”

陈醒的思维极具跳跃性。

这个大胆的构想，如同在黑暗的迷宫中点亮了一盏灯！实验室的气氛瞬间被激活！

新的攻坚方向迅速確立。徐文渊团队立刻转向原子层沉积保护膜的研发与工艺验证，林薇协调国內顶尖精密製造企业，日夜赶製专用设备。

金秉洙团队则全力投入到微透镜阵列的光路设计、控制算法重写以及与光学供应商的紧急协同中。

时间以小时为单位流逝。挑战层出不穷。保护膜的厚度控制精度要求达到原子级別，过厚影响喷射，过薄则毫无作用；微透镜阵列的加工一致性要求极高，子束的能量均衡性调试更是繁琐到了极致。