林薇被紧急通讯请求的震动唤醒。窗外天色微明，亚热带清晨特有的湿润空气透过未关严的窗缝渗入房间。她看了一眼来电显示，宝积电研发中心的加密线路。

“林总，抱歉这么早打扰。”电话那头是约翰·陈的声音，失去了往日的从容，带著一种压抑的紧迫感，“昨晚进行的tc-224新沉积方案验证实验，出了些……异常情况。”

林薇瞬间清醒，从床上坐起：“什么异常？”

“验证组按您提供的参数，在凌晨两点启动了第一个批次实验。”约翰·陈语速很快，“前三个样品看起来一切正常，沉积速率、薄膜厚度、反射率曲线都符合预期。但第四个样品，设备监控系统记录到一个短暂的功率波动。”

“功率波动？”林薇赤脚走到书桌前，打开笔记本电脑，“幅度多大？持续时间？”

“沉积电源输出功率在0.3秒內下降了8.2%，隨即恢復正常。”约翰·陈那边传来翻动纸张的声音，“由于波动时间太短，在线质量监控系统没有触发警报，按照规程继续完成了整个沉积过程。但今天早上，当我们取出样品进行初步检测时……”

他停顿了一下，声音变得艰涩：“第四个样品的氮化铝过渡层，出现了我们从未见过的微观结构。”

林薇的手指在键盘上快速敲击，远程登录到宝积电的安全数据伺服器：“把扫描电镜图像和x射线衍射数据发给我。现在。”

“已经发送到您的加密帐户。”约翰·陈说，“林总，我需要您马上来研发中心。我们的材料专家说，这种结构……很不寻常。”

半小时后，林薇已经坐在宝积电研发中心的洁净室观察区。透过双层玻璃，她能看到里面穿著无尘服的技术人员正在操作原子力显微镜。屏幕上，第四號样品的表面形貌图正在逐渐清晰。

约翰·陈站在她身边，手里拿著刚列印出来的数据报告，脸色凝重。

“看这里。”林薇指著屏幕上的高分辨图像。在氮化铝薄膜表面，原本应该呈现均匀柱状晶结构的区域，出现了一片直径约两百纳米的圆形区域。在这个区域內，晶体排列呈现出一种奇异的放射状图案，仿佛水面的涟漪被瞬间冻结。

更诡异的是，放射状图案的中心点，原子力显微镜的探针检测到了异常的硬度，比正常氮化铝高出近三倍。

“这是什么？”林薇问。

“我们不知道。”回答的是宝积电材料实验室的主任，一位头髮花白的博士，隔著玻璃用通讯器说道，“这种放射状晶体生长模式，在氮化铝沉积中从未报导过。中心点的高硬度区域……我们做了微区x射线能谱分析，成分还是氮化铝，没有掺杂其他元素。”

林薇调出x射线衍射图谱。正常的氮化铝薄膜应该显示出清晰的(002)晶面择优取向峰，但第四號样品的图谱上，除了主峰外，还出现了几个微弱的额外峰位。

“这些额外峰……”她放大图谱，“对应的是什么晶面？”

“我们查遍了资料库。”材料主任的声音带著困惑，“这些衍射角对应的晶面间距，在標准氮化铝晶体结构中不存在。除非……”

“除非晶体结构本身发生了改变。”林薇接过话头，“氮化铝通常是纤锌矿结构，但有没有可能在特定条件下，形成某种亚稳態的晶体变体？”

观察室里安静了几秒。约翰·陈打破了沉默：“理论上可能，但需要极端条件，高压、高温，或者强烈的电场作用。我们的沉积过程根本不具备这些条件。”

林薇没有立即回应。她的目光在几个屏幕间移动：原子力显微镜图像、x射线衍射图谱、沉积过程的实时监控数据……突然，她注意到一个细节。

“功率波动发生的確切时间点，与沉积层的对应关係是什么？”她问操作员。

技术人员调出时间同步数据。屏幕上，沉积过程的参数曲线与薄膜生长的模擬图像並列显示。那条代表电源功率的蓝色曲线，在某个时刻突然下凹，隨即恢復。

“波动发生在沉积进行到第47纳米厚度时。”技术人员用光標標记位置，“对应的是薄膜生长中期。”

林薇放大那个时间点的所有传感器数据。温度、压力、气体流量、等离子体密度……在功率波动的0.3秒內，几乎所有参数都发生了同步的微小变化。

但有一个参数例外。

“衬底偏压。”林薇指著一条几乎保持水平的红色曲线，“为什么衬底偏压没有变化？”

衬底偏压是沉积过程中施加在硅片上的直流电压，用於吸引离子、控制薄膜的致密性和应力。通常，它应该与等离子体功率联动调节。

约翰·陈凑近屏幕：“偏压电源是独立控制的……等等，这里有问题。”

他调出偏压电源的详细日誌。在功率波动的同一时刻，偏压电源的记录显示：“外部干扰检测，自动切换至缓衝模式。”

“缓衝模式？”林薇皱眉。

“我们的偏压电源有智能保护功能。”电源工程师解释道，“如果检测到来自电网或设备內部的异常干扰，它会自动切换到一个隔离变压器缓衝迴路，避免干扰传递到样品。但在切换过程中，输出电压会有一个极短暂的……相位漂移。”

相位漂移。林薇的脑海里突然闪过一个念头。

“把功率波动前后0.5秒的偏压波形完整数据调出来。”她的声音变得急促，“最高採样率的那组。”

数据被提取出来。在高速採集模式下，原本平滑的直流偏压曲线，显示出肉眼难以察觉的细节，在功率波动的瞬间，偏压信號上叠加了一个高频振盪，频率大约在1.2兆赫兹，振幅很小，只持续了五个周期。

“1.2兆赫兹……”林薇喃喃道，手指在虚擬键盘上快速计算，“这个频率对应的波长……在氮化铝中的传播特性……”

她突然停下，抬头看向约翰·陈：“我需要立即联繫华夏芯谷。现在。”

二十分钟后，一场跨越海峡的视频会议紧急召开。

华夏芯谷这边，陈醒、章晴、金秉洙聚集在euv光源实验室的会议室。宝岛这边，林薇、约翰·陈和宝积电的技术团队在线。

“陈总，请章晴描述一下13.52nm异常光谱峰的特徵。”林薇开门见山。

章晴在视频那头调出数据：“异常峰出现在13.52nm波长，比標准的13.5nm偏移0.02nm。持续时间不等，从0.2秒到0.5秒，出现时间隨机，没有明显规律。光谱半高宽比正常峰略窄，强度约为正常euv辐射的千分之三。”

“0.02nm偏移……”林薇重复这个数字，“对应多少能量差？”

“大约0.014电子伏特。”章晴回答。

林薇转向宝积电的电源工程师：“你们偏压电源的高频振盪频率是1.2兆赫兹。如果这个振盪通过某种机制耦合到等离子体中，可能產生什么效应？”

工程师愣住了：“理论上……高频振盪可能激发等离子体中的特定波模，產生参数共振。但这需要非常精確的频率匹配，而且我们的振盪振幅太小，不足以產生可观测的效应……”

“除非有放大机制。”陈醒的声音从扬声器传来，他一直在沉默地听，“林薇，你是不是怀疑，宝积电沉积设备的电源干扰，和『追光二期』的光谱异常，有共同的物理根源？”

“我需要验证一个假设。”林薇调出两份数据並列显示，左边是euv异常光谱的时间序列，右边是宝积电沉积过程的完整监控记录，“章晴，你们能精確测量异常光谱出现的时间吗？精確到毫秒级。”